仪器主要部件及参数:PM-250超精密镜面铣床主轴功率1.8kW,装配了自动校准、自动对焦、自动检查刀痕宽度等高级影像识别系统,搭配触摸屏操作面板提高了生产效率,可用于最大边长250mm的方形样品切削加工,其X轴加工范围:260mm、进刀速度:0.1~600mm/s;Y轴加工范围:260mm、最小给进量:0.0001mm、定位精度:0.003mm/260mm;Z轴有效行程:32.2mm、重复精度:0.001mm、移动解析度:0.00005mm、最大铣刀直径58mm;θ轴最大旋转角度380°。
仪器主要功能及描述:通过配置不同切割刀,能够对硅片、铌酸锂晶圆、钽酸锂晶圆、陶瓷、玻璃等材料进行微米尺寸下切削加工。
仪器用途:用于铌酸锂晶圆、钽酸锂晶圆精密切割切削、PP系列晶体切割切削、微米级别脊形波导切割切削。