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超精密镜面铣床 PM-250
  • 仪器地址: 物构所华晶楼2楼
  • 仪器类别: 金属加工设备;金属切削机床-其他金属切削机床
  • 负责人: 陈怀熹
  • 仪器国别、厂家: 中国、北京诺斯泰格精密技术有限公司
  • 联系方式: 13720823741 hxchen@fjirsm.ac.cn
仪器名称:超精密镜面铣床
仪器型号:PM-250
仪器国别、厂家:中国、北京诺斯泰格精密技术有限公司
仪器类别:金属加工设备-金属切削机床-其他金属切削机床
仪器主要部件及参数:

PM-250超精密镜面铣床主轴功率1.8kW,装配了自动校准、自动对焦、自动检查刀痕宽度等高级影像识别系统,搭配触摸屏操作面板提高了生产效率,可用于最大边长250mm的方形样品切削加工,其X轴加工范围:260mm、进刀速度:0.1~600mm/s;Y轴加工范围:260mm、最小给进量:0.0001mm、定位精度:0.003mm/260mm;Z轴有效行程:32.2mm、重复精度:0.001mm、移动解析度:0.00005mm、最大铣刀直径58mm;θ轴最大旋转角度380°。

仪器主要功能及描述:

通过配置不同切割刀,能够对硅片、铌酸锂晶圆、钽酸锂晶圆、陶瓷、玻璃等材料进行微米尺寸下切削加工。

仪器主要技术指标:

主轴轴向跳动量:≤0.05μm。

仪器用途:

用于铌酸锂晶圆、钽酸锂晶圆精密切割切削、PP系列晶体切割切削、微米级别脊形波导切割切削。

应用案例:
仪器地址:物构所华晶楼2楼
负责人:陈怀熹
联系方式:13720823741 hxchen@fjirsm.ac.cn