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光学剖面测量仪 S-neox

仪器名称：光学剖面测量仪

仪器型号：S-neox

仪器国别、厂家：西班牙、Sensofa-Tech公司、北京超立方科技有限公司

仪器类别：非接触式3D测量仪

仪器主要部件及参数：

Microdisplay，130万像素CCD，共聚焦及干涉光路组件，镜头，电动载物台，电脑等。

仪器主要功能及描述：

采用共聚焦+干涉的技术，以非接触式光学成像获取样品表面的3D形貌。进而可以分析样品表面的关键尺寸或表面纹理等信息。

仪器主要技术指标：

最小纵向高度分辨率1nm，最小水平横向分辨率：0.14um，精度：0.5%，重复性：0.1%

仪器用途：

获取样品表面关键尺寸，分析表面纹理等信息

应用案例：案例文件

仪器地址：海西院3号楼202

负责人：陈伟强

联系方式：15359903836 chenweiqiang@fjirsm.ac.cn