具有N-Lite+超微力传感器，探针压力:0.03-15 mg； 探针曲率半径:2um；手动样品台尺寸:4英寸(100mm) .

台阶高度及宽度的测量

台阶高度重现性<5A(1um台阶 1sigma)； 单次扫描长度:55 mm；  垂直测量范围:1 mm；垂直分辨率:1A(6.55um范围).

用于各类薄膜的厚度、表面粗糙度、波纹度、翘曲度、沟槽深度和薄膜应力等方面的分析测试。