自动变角范围:15－90度；角度准确度:0.01度 .

测量透明或半透明薄膜厚度以及折射率等

光谱范围:240-1100nm；紫外扩展:193－240nm；红外扩展:1100－2500nm；

测量单层或多层薄膜厚度、折射率n、消光系数k随波长的变化，以及测量材料组分、梯度不均匀性、表界面粗糙度等。