ESCALAB 250Xi主体包含分析室、进样室及样品处理室及高压气体反应室。各室配备独立的超高真空抽气系统，超高真空分析室内具备单色化XPS、微区XPS、双阳极XPS、成像XPS、深度剖析XPS、紫外光电子能谱UPS、样品加热冷却台、预处理室样品清洁离子枪、自动化五轴样品台以及实现这些功能的部件等。

仪器可对固体样品进行XPS常规测试、氩离子刻蚀测试、深度剖析、紫外光电子能谱（UPS）测试、准原味变温测试、原位真空加热测试等。

1、能量扫描范围：0-1350eV；2、X射线束斑范围：20-900 um；3、分析室最佳真空度：优于2×10-10 mbar，进样室真空度：优于2×10-8 mbar；4、最佳能量分辨率：≤0.45 eV（XPS）、100 meV（UPS）；5、单色器（大面积）能量分辨率：：400000 cps（FWHM≤0.50 eV）

各种固体材料及膜材料的元素组成、价态、化学态以及价带分析。广泛应用于催化、化工、半导体、微电子、薄膜、太阳能、高分子聚合物、陶瓷、钢铁、金属、生物材料、纳米技术等领域。