冷阴极场发射电子枪，加速电压0.5KV～30KV可调，二次电子分辨为1.0nm (加速电压15KV，WD=4mm)，1.3nm (着陆电压1KV，WD=1.5mm)。高位检测器含SE/BSE信号可变模式。配置EDAX能谱仪，分辨率127eV (Mn Kα)，探测元素范围为Be4-U92。

高分辨形貌观察（SE/BSE信号可变），以及微区成分分析（EDX）。

二次电子分辨为1.0nm (加速电压15KV，WD=4mm)，1.3nm (着陆电压1KV，WD=1.5mm)。能谱仪分辨率127eV (Mn Kα)，探测元素范围为Be4-U92。

主要用于观察材料表面的微观形貌，配合能谱仪可以对试样进行微区成分分析。广泛应用于材料科学、纳米技术和生命科学等领域。