马达驱动样品台（X-Y轴），180mm × 150mm可观测区域；5百万像素数字摄像头；180μm至1465μm可视区域；数字化缩放，马达驱动聚焦

接触模式；轻敲模式；ScanAsyst智能扫描模式；静电力显微镜模式；表面电势模式；磁力显微镜模式；力曲线及力矩阵

1、 最大扫描范围：XY方向 90微米，Z方向10微米；2、 可容纳最大样品直径：210mm；3、 最大样品高度：15mm；4、 设备噪音水平：XY方向<150pm，Z方向<35pm

对样品表面进行微纳米尺度的形貌测试，获得三维形貌，粗糙度，以及表面结构厚度、高度以及长度尺寸信息。同时还可以对样品的表面电势、磁畴以及纳米力学性能进行表征。