电子枪：肖特基热场发射超亮电子枪

配备Gatan OneView COMS相机。

配备HAADF探测器、同轴BF/DF2/DF4探测器，iDPC探测器，可同时采集4幅来自不同角度的电子信号，明场 (BF)，环形明场(ABF)，环形暗场(ADF)和大角度环形暗场(HAADF)的图像。 配有DCFI图像漂移校正帧积分分析软件。

配备Super-X超级能谱仪，拥有4个SDD探头

形貌像（明场像BF、暗场像DF）、高分辨像（HRTEM）、选区电子衍射（SAED）、扫描透射（STEM）、能谱分析（EDX）。

加速电压:200kV；

TEM点分辨率：0.24nm

TEM点线辨率：0.14nm

TEM信息分辨率: 0.12 nm

配备Gatan OneView COMS相机。

STEM分辨率: 0.16 nm

用于研究纳米材料的微观形貌、晶体结构，可分析粒径分布、晶体及晶界缺陷、生长方向等；配合能谱仪、扫描透射等附件对试样进行微区成分分析。广泛应用于材料科学、纳米技术和生命科学等领域。