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薄膜微区原位性能测试系统 Nanofilm_EP4SE
  • 仪器地址: 海西院嘉锡楼221
  • 仪器类别: 其他性能表征;椭圆偏振仪-布鲁斯特角显微镜
  • 负责人: 王观娥
  • 仪器国别、厂家: Accurion GmbH
  • 联系方式: 18006935904 gewang@fjirsm.ac.cn
仪器名称:薄膜微区原位性能测试系统
仪器型号:Nanofilm_EP4SE
仪器国别、厂家:Accurion GmbH
仪器类别:椭圆偏振仪-布鲁斯特角显微镜
仪器主要部件及参数:

成像椭偏仪主体,型号:Nanofilm_EP4-; 液/液界面光导测试单元;膜分析天平(LB槽),型号LB Large(KSV-Nima);反射光谱仪,型号:Nanofilm_RefSpec;

仪器主要功能及描述:

对薄膜的实时原位可视化分析测试,实时查看样品微观尺度上的结构,实时原位测量诸如薄膜厚度、折射率和吸收系数等参数,实时进行微区原位紫外/近红外反射吸收光谱测试分析,也可以对薄膜进行区域化(选区)分析,获得所选区域的成像分析图。还可以结合其他分析测试技术对样品进行联合分析从而从样品中获取更多的信息。可同时满足液液界面、液固界面和固固界面分析。

仪器主要技术指标:

1)厚度测量:范围1.0 nm-2μm,精度 ±0.5nm 2)折射率n可重复精度:0.0005 3)吸收系数k可重复精度:0.0005 4)原位紫外/近红外反射吸收光谱测试:范围300-900 nm,精度:1 nm

仪器用途:

界面薄膜原位可视化分析测试;薄膜厚度无损测试;折射率和吸收系数等参数测试;微区原位紫外/近红外反射吸收光谱分析;薄膜选区成像分析;

应用案例:
仪器地址:海西院嘉锡楼221
负责人:王观娥
联系方式:18006935904 gewang@fjirsm.ac.cn