经过切割、研磨抛光后的样品，通过离子减薄仪处理，可以进一步进行减薄处理，获得大面积的薄区，实现样品厚度达到电子束可穿透水平。通过离子减薄仪制备的金属、陶瓷、薄膜、复合材料、颗粒等各种材料的透射电镜试样， 薄区面积大、损伤小，有效避免样品的微观结构被损伤的基础上，大大提高了电镜图片的清晰度，进而可以更为清楚的将材料自然状态下的微观结构展现出来，便于科学研究。此外可以用于SEM和FIB样品的制备。

1）离子枪束流：1-10Kv

2) 离子枪倾斜：优于±10°

3）无油真空系统.

4）自动终止程序控制。