仪器主要功能及用途:适用于对样品进行精确定位,定点样品制备,能对样品进行铣削、切割、修块、研磨、抛光及冲钻等加工,并可实时显微观察。
可适用多种样品处理,特别是针对硬脆等难制备的样品,大幅提高制样成功率,如陶瓷,芯片,电子器件,岩石,硬质合金,高分子材料,面板等。机械控制系统及可视化观察系统,克服了传统手工研磨对样品精度的控制的难点,完成电镜样品制备的预加工和研磨抛光等系列工作。
可为TEM样品制备3mm直径圆片,两边平行,厚度可达1μm量级。 可为SEM样品进行精细修块或精细抛光。
仪器主要技术指标:1)机械控制系统,轴承转速 300-20000rpm,可调;具备多挡步进值可调;具备自动磨抛功能及相应的除尘系统。自动磨抛功能:具备自动磨抛功能;SAW控制左右移动速度;DIST 倒计数;TIME倒计时
2)观察系统,Leica M80体视显微镜;物镜:0.8 X ;变倍:0.75~6;目镜:15;倍率:9.6~76.8
3)可为显微镜样品做定点切割、研磨、抛光等制备。