用于研究固体材料,尤其是纳米材料的形貌观察和结构等;配合能谱仪对试样进行微区成分分析。广泛应用于材料科学、纳米技术和生命科学等领域。
场发射电子枪,成像分辨率:≤1nm@15kV,≤1.5nm@1kV
探测器:配备二次电子探测器(SE);背散射电子(BSE)探测器
配置X射线能谱仪:MnKa分辨率优于127eV;FKa分辨率优于64eV