半导体测试仪/含探针台----所级公共技术中心

公共分析测试平台

您当前的位置：首页仪器设备公共分析测试平台

半导体测试仪/含探针台 4200-SCS/EB-4

仪器名称：半导体测试仪/含探针台

仪器型号： 4200-SCS/EB-4

仪器国别、厂家：美国Keithley

仪器类别：半导体仪

仪器主要功能及用途：

Keithley 4200-SCS/EB-4是一个参数分析系统，核心功能是对半导体器件和材料进行全面的直流、瞬态特性分析。

仪器主要技术指标：

电流源输出：1.5fA~100mA（4200-SMU）

测量范围：0.1fA~100mA，最小分辨率 0.1fA（配 4200-PA）

精度：10fA，等效阻抗达 10¹⁶Ω。电压源输出：0.2μV~210V，最小分辨率 5μV，测量范围：1μV~200V

精度：200V 时 0.015%+3mV；200mV 时 0.012%+80μV

应用案例：

仪器地址：高新区园区嘉锡楼221

负责人：常立美

联系方式：13799327526 changlimei@fjirsm.ac.cn