光谱仪包含：氘灯激发光源，单色器和光电倍增管探测器，Andor可见波段 CCD相机、真空样品仓、真空快门、真空狭缝，分子泵组。

150W氘灯（120-380nm），红敏型探测器R955 PMT(160-900nm)，光栅刻线1200g和1800g，分子泵真空度≤0.001Pa，可见波段CCD相机，电流计0.01nA。

真空紫外反射谱（VUV-RS）,真空紫外透过谱（VUV-TS）,真空紫外激发的发射谱（VUV-Em）。

150W氘灯（120-380nm），红敏型探测器R955 PMT(160-900nm)，光栅刻线1200g和1800g，分子泵真空度≤0.001Pa，CCD探测器，电流计0.01nA。

用于VUV激发下光物理与固体能态的研究，包括宽禁带半导体中紫外受激发光如ZnO；宽禁带绝缘体的电子态如CeF3、PbWO4；稀土离子的高激发态如GdLiF4:Eu；内层芯电子的激发如BaF2型。另外用于晶体在真空紫外下的吸收谱，研究其紫外截止吸收边。