仪器主要部件及参数:透射电子显微镜主体;配置双球差校正器12级子;冷场发射电子枪300kv;配置HAADF、LAADF、BF、ABF探测器;配置两个100mm2无窗EDS探头及双能谱混合器;低剂量曝光技术和图像三维重构软件;Oneview相机
仪器主要功能及描述:可获取原子级扫描透射像(STEM HADDF\LADDF\BF\ABF )、高分辨像(HRTEM)、选区电子衍射(SAED)、形貌像(明场像BF、暗场像DF)、能谱分析(EDS),并兼容3D、原位工作。
仪器主要技术指标:加速电压,300kv;
STEM HAADF resolution,63pm(300kv);STEM BF resolution,82pm(300kv);TEM point resolution,0.22nm(300kv);TEM lattice resolution,60pm(300kv);TEM Information limit,80 pm(300kv);Ronchigram,≥27mrad(300kv);Probe drift,≤0.5nm/min(300kv);EDS能量分辨率:优于128eV。