系统配有激光电源
利用该紫外激光对光敏材料照射形成周期性调制的折射率变化制作体布拉格光栅,光固化,光刻。
主要技术指标有:1、输出波长:325nm;2、输出功率:最高可达50mW;3、偏振态:线偏振;4、光斑模式:TEM00模;5、光斑直径:1.11mm;6、光束发散角:0.26mrad
制作光栅,光固化,微纳光刻