氦-镉激光器----所级公共技术中心

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氦-镉激光器 IK3501R-G

仪器名称：氦-镉激光器

仪器型号：IK3501R-G

仪器国别、厂家：日本Kimmon公司

仪器类别：激光器-紫外激光器

仪器主要部件及参数：

系统配有激光电源

仪器主要功能及描述：

利用该紫外激光对光敏材料照射形成周期性调制的折射率变化制作体布拉格光栅，光固化，光刻。

仪器主要技术指标：

主要技术指标有：1、输出波长：325nm；2、输出功率：最高可达50mW；3、偏振态：线偏振；4、光斑模式：TEM00模；5、光斑直径：1.11mm；6、光束发散角：0.26mrad

仪器用途：

制作光栅，光固化，微纳光刻

应用案例：

仪器地址：高新区园区制造楼202

负责人：李楠

联系方式：13389542178 nanli@fjirsm.ac.cn