激光干涉系统，透镜反射系统

精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前QPSI快速机械相移模式和传统的机械相移干涉模式（PSI）

1)频率稳定度：<0.0001nm；

2)相干长度：>100m；

3)成像分辨率：1024*1024像素； 

4)帧速：100Hz(PSI) 。

该仪器可对平面或球面进行快速高精度测量，并可传输光学系统和组件的波前。测量玻璃或塑料光学元件-如平面，透镜和棱镜-甚至精密加工的金属和陶瓷表面。