纵向力：＜10mN  纵向位移：＜5μm  横向力：< 5 mN  横向位移：＜20μm

可以在力控制或位移控制下进行压痕、划痕实验，可以记录力-位移曲线，可以获得材料表面相关力学性能参数，例如硬度和弹性模量，具备原位成像功能，可以定位进行压痕、划痕实验，可在高低温环境下进行测试。

纵向力：＜10mN  纵向位移：＜5μm  横向力：< 5 mN  横向位移：＜20μm

可以在力控制或位移控制下进行压痕、划痕实验，可以记录力-位移曲线，可以获得材料表面相关力学性能参数，例如硬度和弹性模量，具备原位成像功能，可以定位进行压痕、划痕实验，可在高低温环境下进行测试。